掃描電子顯微鏡的性能特點(diǎn)介紹

        掃描電鏡性能特點(diǎn)介紹
        掃描電鏡的種類繁多，不同種類的掃描電鏡在性能上也存在差異。根據(jù)電子槍的類型，可分為場發(fā)射電子槍、鎢絲槍和六硼化鑭三種類型[5]。其中，場發(fā)射掃描電子顯微鏡按光源性能可分為冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡和熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡。冷場發(fā)射掃描電鏡對(duì)真空條件要求高，光束不穩(wěn)定，發(fā)射器壽命短，需要定期清洗針尖?？砷L時(shí)間工作，并可與多種配件組合，實(shí)現(xiàn)綜合分析。在地質(zhì)領(lǐng)域，我們不僅需要觀察樣品的初始形態(tài)，還需要結(jié)合分析儀分析樣品的其他性質(zhì)，因此熱場發(fā)射掃描電鏡的應(yīng)用更為廣泛。
        掃描電子顯微鏡（SEM）是一種用于高分辨率顯微形貌分析的大型精密儀器。具有景深大、分辨率高、成像直觀、三維感強(qiáng)、放大倍率范圍廣、待測樣品可在三維空間內(nèi)旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點(diǎn)。此外，它還具有可測量樣品種類豐富，對(duì)原始樣品幾乎無損傷和污染，同時(shí)獲取形貌、結(jié)構(gòu)、成分和晶體學(xué)信息等優(yōu)點(diǎn)。目前，掃描電鏡已廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)、物理、化學(xué)、司法、地球科學(xué)、材料科學(xué)、工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的顯微研究。 、沉積學(xué)、地球化學(xué)、寶石學(xué)、微型古生物學(xué)、天文地質(zhì)學(xué)、油氣地質(zhì)學(xué)、工程地質(zhì)學(xué)和構(gòu)造地質(zhì)學(xué)等。
         SEM雖然是顯微鏡家族中的hou起之秀，但由于其諸多優(yōu)勢(shì)，其發(fā)展速度非?？?。
         1 儀器分辨率高，通過二次電子圖像可以觀察到樣品表面約6 nm的細(xì)節(jié)。提高到 3nm。
         2 儀器放大倍率變化范圍廣，可連續(xù)調(diào)節(jié)。因此，可以根據(jù)需要選擇不同的視場進(jìn)行觀察，同時(shí)在高倍率下可以獲得高亮度、清晰的圖像，這是一般透射電鏡難以做到的。
         3 觀察樣品景深大，視野大，圖像充滿立體感。
         4 制樣簡單，大塊或粉狀樣品只要稍加處理或不加處理，即可直接放入掃描電鏡觀察，更接近材料的自然狀態(tài)。
         5圖像質(zhì)量可以通過電子方式進(jìn)行有效控制和改善，例如自動(dòng)保持亮度和對(duì)比度、樣品傾斜角度校正、圖像旋轉(zhuǎn)，或通過Y調(diào)制來提高圖像對(duì)比度的緯度，以及圖像各部分的亮度。圖像 中等偏暗。使用雙倍放大裝置或圖像選擇器，可以在熒光屏上同時(shí)觀察不同放大倍率的圖像。
         6 可以進(jìn)行綜合分析。配備波長色散X射線光譜儀（WDX）或能量色散X射線光譜儀（EDX），具有電子探針功能，還可檢測反射電子、X射線、陰極熒光、透射電子、俄歇由樣品電子等發(fā)出。將SEM的應(yīng)用擴(kuò)展到各種微觀和微觀區(qū)域分析方法，顯示了SEM的多功能性。此外，還可以在觀察形貌圖像的同時(shí)分析樣品的可選微區(qū)；附上半導(dǎo)體樣品架，通過電動(dòng)勢(shì)圖像放大器可以直接觀察晶體管或集成電路中的PN結(jié)和微觀缺陷。由于許多SEM電子探針實(shí)現(xiàn)了電子計(jì)算機(jī)的自動(dòng)和半自動(dòng)控制，大大提高了定量分析的速度。