電子顯微鏡金相顯微鏡的不同之處

        掃描電子顯微鏡（SEM），簡(jiǎn)稱SEM，是一個(gè)復(fù)雜的系統(tǒng)；它集中了電子光學(xué)技術(shù)、真空技術(shù)、精細(xì)的機(jī)械結(jié)構(gòu)和現(xiàn)代計(jì)算機(jī)控制技術(shù)。掃描電鏡是在加速高壓的作用下，通過多級(jí)電磁透鏡將電子槍發(fā)射的電子收集成微小的電子束。掃描樣品表面激發(fā)各種信息，通過接收、放大和顯示信息，可以分析樣品表面。入射電子與樣品的相互作用產(chǎn)生了如圖 1 所示的各種信息。這些信息的二維強(qiáng)度分布隨樣品表面的特性而變化（這些特性是表面形貌、成分、晶體取向、電磁特性）等），也就是將各種探測(cè)器采集的信息按順序和比例轉(zhuǎn)換成視頻信號(hào)，然后送到同步掃描的顯像管，對(duì)其亮度進(jìn)行調(diào)制，得到反映樣品表面狀況的掃描圖像。如果探測(cè)器接收到的信號(hào)經(jīng)過數(shù)字化處理，轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)，就可以被計(jì)算機(jī)進(jìn)一步處理和存儲(chǔ)。掃描電鏡主要用于觀察高差大、粗糙度大的厚樣品，因此設(shè)計(jì)突出景深效應(yīng)，一般用于分析裂縫和自然表面，無需人工處理。
        
        電子顯微鏡和金相顯微鏡
        
        1、光源不同：金相顯微鏡以可見光為光源，掃描電子顯微鏡以電子束為光源進(jìn)行成像。
        
        2、原理不同：金相顯微鏡利用幾何光學(xué)成像原理進(jìn)行成像，而掃描電鏡利用高能電子束轟擊試樣表面，激發(fā)試樣表面各種物理信號(hào)，然后使用不同的信號(hào)檢測(cè)器來接收物理信號(hào)。該信號(hào)被轉(zhuǎn)換為圖像信息。
        
         3、分辨率不同：由于光的干涉和衍射，金相顯微鏡的分辨率只能限制在0.2-0.5um。因?yàn)閽呙桦婄R以電子束為光源，其分辨率可以達(dá)到1-3nm之間，所以金相顯微鏡的組織觀察屬于微觀層面的分析，而掃描電鏡的組織觀察屬于到納米級(jí)分析。
        
        4、景深不同：一般金相顯微鏡的景深在2-3um之間，因此對(duì)試樣的表面光潔度要求*，因此制樣過程相對(duì)復(fù)雜。掃描電鏡具有大景深、大視場(chǎng)、三維圖像，可直接觀察各種樣品凹凸不平表面的精細(xì)結(jié)構(gòu)。